Model based cell-array OPC development for productivity improvement in memory device fabrication

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标题	Model based cell-array OPC development for productivity improvement in memory device fabrication 用于提高存储器件制造生产率的基于模型的单元阵列OPC开发相关领域薄脆饼覆盖平版印刷术计算机科学晶圆制造炸薯条存储单元过程（计算）一致性（知识库）进程窗口计算机硬件电子工程嵌入式系统工程类材料科学电气工程晶体管光电子学电压人工智能程序设计语言操作系统电信
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297638
DOI	10.1117/12.2297638 doi
其它	期刊：作者：Jebum Yoon; Se‐Young Oh; Chanha Park; Juhwan Kim; Ahmed Seoud; et al 出版日期：2018-03-20
求助人	lim 在 2025-10-27 07:24:34 发布自湖北，悬赏 20 积分
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