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 Low-Temperature Epitaxial Growth by Quiescent Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition at Atmospheric Pressure 常压静态等离子体增强化学气相沉积低温外延生长
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Chang-Hun Song; Hwa-Yeon Ryu; H. Oh; Seung Jae Baik; Dae-Hong Ko 出版日期：2022-12-01 |
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