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标题
Low-Temperature Epitaxial Growth by Quiescent Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition at Atmospheric Pressure
常压静态等离子体增强化学气相沉积低温外延生长
相关领域
外延 材料科学 等离子体 化学气相沉积 大气压力 大气压等离子体 基质（水族馆） 沉积（地质） 等离子体处理 光电子学 半导体 杂质 分析化学（期刊） 化学工程 纳米技术 环境化学 化学 图层（电子） 气象学 有机化学 海洋学 物理 地质学 工程类 古生物学 生物 量子力学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/acabe4
DOI
10.1149/2162-8777/acabe4 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Chang-Hun Song; Hwa-Yeon Ryu; H. Oh; Seung Jae Baik; Dae-Hong Ko
出版日期：2022-12-01
求助人
舟舟 在 2025-08-30 02:16:55 发布自吉林，悬赏 10 积分
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