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 High Quality Vertical Silicon Channel by Laser-Induced Epitaxial Growth for Nanoscale Memory Integration 激光诱导外延生长用于纳米级存储器集成的高质量垂直硅沟道
相关领域
材料科学
光电子学
晶体管
外延
频道（广播）
存储单元
纳米尺度
场效应晶体管
纳米技术
电子工程
电气工程
工程类
电压
图层（电子）
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期刊：JSTS Journal of Semiconductor Technology and Science 作者：Yong-Hoon Son; Seung Jae Baik; Myounggon Kang; Kihyun Hwang; Euijoon Yoon 出版日期：2014-04-30 |
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