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标题
High Quality Vertical Silicon Channel by Laser-Induced Epitaxial Growth for Nanoscale Memory Integration
激光诱导外延生长用于纳米级存储器集成的高质量垂直硅沟道
相关领域
材料科学 光电子学 晶体管 外延 频道(广播) 存储单元 纳米尺度 场效应晶体管 纳米技术 电子工程 电气工程 工程类 电压 图层(电子)
网址
DOI
10.5573/jsts.2014.14.2.169 doi
其它 期刊:JSTS Journal of Semiconductor Technology and Science
作者:Yong-Hoon Son; Seung Jae Baik; Myounggon Kang; Kihyun Hwang; Euijoon Yoon
出版日期:2014-04-30
求助人
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