Application of Surfactants in Enhancing Chemical Mechanical Polishing Slurry Performance for Microelectronics: A Review

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标题	Application of Surfactants in Enhancing Chemical Mechanical Polishing Slurry Performance for Microelectronics: A Review 表面活性剂在提高微电子化学机械抛光浆料性能中的应用相关领域材料科学微电子化学机械平面化泥浆抛光复合材料纳米技术
网址	https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2025.112547
DOI	10.1016/j.mtcomm.2025.112547 doi
其它	期刊：Materials today communications 作者：Song Ma; Yiwang Chen; Cong Wang; Yan Li; Xu Yang; et al 出版日期：2025-04-17
求助人	想喝奶茶在 2025-07-10 14:23:20 发布自上海，悬赏 10 积分
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