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Application of surfactants in enhancing chemical mechanical polishing slurry performance for microelectronics: A review

材料科学微电子化学机械平面化泥浆抛光复合材料纳米技术

作者

Song Ma,Yiwen Chen,Caoxu Wang,Yan Li,Xu Yang,Yue Wu

出处

期刊：Materials today communications [Elsevier BV]
日期：2025-04-17 卷期号：46: 112547-112547 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.mtcomm.2025.112547

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