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 Development of Programmable UV-LED Microlithography System for 3D Microfabrication 用于三维微加工的可编程UV-LED微光刻系统的研制
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Sabera Fahmida Shiba; Hyeongmin Jeon; Jong-Soo Kim; Jong‐Eun Kim; Jungkwun Kim 出版日期：2021-10-26 |
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