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标题
Dual Functionality of DTPMP and OHA: Enhancement in Removal Rates and Excellent Surface Quality of Cobalt CMP
DTPMP和OHA的双重功能：提高钴CMP的去除率和优异的表面质量
相关领域
钴 对偶（语法数字） 质量（理念） 化学 材料科学 化学工程 无机化学 物理 工程类 艺术 量子力学 文学类
网址
https://doi.org/10.1016/j.electacta.2024.145591
DOI
10.1016/j.electacta.2024.145591 doi
其它 期刊：Electrochimica Acta
作者：Liunan She; Yingqi Di; Le Zhai; Jie Cheng; Guofeng Pan; et al
出版日期：2024-12-01
求助人
感动的听荷 在 2025-04-29 14:30:30 发布自吉林，悬赏 10 积分
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