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![]() 金属有机前驱体(C12H23N3Ti)和N2等离子体远程等离子体增强原子层沉积氮化钛薄膜
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期刊:Applied Surface Science 作者:Byunguk Kim; Namgue Lee; Junghoon Lee; Taehun Park; Hyun‐Woo Park; et al 出版日期:2020-11-19 |
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日辰星痕
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2025-07-08 14:42:45 发布,悬赏 10 积分
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