待确认
  • 文献求助详情
标题
Remote plasma enhanced atomic layer deposition of titanium nitride film using metal organic precursor (C12H23N3Ti) and N2 plasma
金属有机前驱体(C12H23N3Ti)和N2等离子体远程等离子体增强原子层沉积氮化钛薄膜
相关领域
材料科学 氮化钛 分析化学(期刊) 化学气相沉积 薄膜 俄歇电子能谱 原子层沉积 透射电子显微镜 金属有机气相外延 结晶度 氮化物 图层(电子) 感应耦合等离子体 等离子体 冶金 纳米技术 化学 外延 复合材料 物理 核物理学 量子力学 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2020.148482 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Byunguk Kim; Namgue Lee; Junghoon Lee; Taehun Park; Hyun‐Woo Park; et al
出版日期:2020-11-19
求助人
日辰星痕 在 2025-07-08 14:42:45 发布,悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
提交工单
求助 / 应助时间线
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
烟花应助CC悟了采纳,获得10
1秒前
大腚仔发布了新的文献求助10
2秒前
Ava应助欣慰的乌冬面采纳,获得10
3秒前
隐形曼青应助敏感初露采纳,获得10
4秒前
Yelanjiao发布了新的文献求助10
4秒前
科研通AI2S应助耶瑟儿采纳,获得10
4秒前
4秒前
7秒前
7秒前
9秒前
沉静天思完成签到,获得积分10
11秒前
Nathan发布了新的文献求助10
11秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
13秒前
乐观文龙完成签到,获得积分10
13秒前
13秒前
孤独丹秋发布了新的文献求助10
13秒前
沉静天思发布了新的文献求助10
14秒前
orixero应助铁布衫金钟罩采纳,获得10
14秒前
山语发布了新的文献求助10
14秒前
15秒前
15秒前
15秒前
小呵点完成签到 ,获得积分10
18秒前
19秒前
隐形曼青应助小亮哈哈采纳,获得10
19秒前
澡雪发布了新的文献求助10
20秒前
20秒前
权志龙发布了新的文献求助10
21秒前
阿瑶完成签到,获得积分10
21秒前
雨相所至发布了新的文献求助10
22秒前
24秒前
eee完成签到,获得积分10
25秒前
26秒前
26秒前
孤独丹秋完成签到,获得积分10
28秒前
29秒前
SHIMMER完成签到,获得积分10
30秒前
雨相所至发布了新的文献求助10
30秒前
哭泣的映寒完成签到 ,获得积分10
30秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3975693
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520019
关于积分的说明 11200635
捐赠科研通 3256410
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798255
邀请新用户注册赠送积分活动 877490
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806390