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  Impact of Mechanical Stress and Nitrogen Doping on the Defect Distribution in the Initial Stage of the 4H-SiC PVT Growth Process 机械应力和氮掺杂对4H-SiC PVT生长初期缺陷分布的影响
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期刊：Materials 作者：Johannes Steiner; Peter J. Wellmann 出版日期：2022-03-03 |
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(2025-6-4)
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