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 Behavior of thin Ta-based films in the Cu/barrier/Si system Ta基薄膜在Cu/势垒/Si体系中的行为
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：M. Stavrev; D. Fischer; Frank Praessler; Christian Wenzel; K. Drescher 出版日期：1999-05-01 |
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