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 A comprehensive study of nonuniformity properties of the LiCoO2 thin-film cathode fabricated by RF sputtering 射频溅射LiCoO2薄膜阴极不均匀性的综合研究
相关领域
溅射
材料科学
阴极
薄膜
光电子学
分析化学（期刊）
纳米技术
电气工程
工程类
化学
色谱法
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期刊：Микроэлектроника 作者：С. В. Курбатов; Alexander Rudy; В. В. Наумов; A. A. Mironenko; O. V. Savenko; et al 出版日期：2024-10-27 |
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