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 Optimization for the growth condition of in situ SiN x cap layer on ultrathin barrier InAlGaN/GaN heterostructures by metal-organic chemical vapor deposition 金属——有机化学气相沉积在InAlGaN/GaN异质结构超薄势垒上原位SiN x盖层生长条件的优化
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期刊：Applied Physics Express 作者：Xia-Xi Zheng; Jen-Yao Huang; Chih-Yi Yang; Hoang-Tan-Ngoc Nguyen; Edward-Yi Chang 出版日期：2021-12-29 |
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