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 Structural, Optical, and Electrical Properties of InOx Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Flexible Device Applications 用于柔性器件的等离子体增强原子层沉积InOx薄膜的结构、光学和电学性能
相关领域
材料科学
薄膜晶体管
原子层沉积
薄膜
铟
光电子学
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微观结构
聚萘二甲酸乙二醇酯
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期刊：ACS applied electronic materials 作者：TaeHyun Hong; KyoungRok Kim; Suhwan Choi; Seung-Hwan Lee; Ki-Lim Han; et al 出版日期：2022-05-27 |
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