| 标题 |
Silicon Photonic MEMS Phase Shifter Using Gradient Electric Force Actuation |
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| DOI |
10.1364/fio.2020.fw5d.3
doi
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| 其它 |
期刊:Frontiers in Optics / Laser Science 作者:Venkatesh Deenadayalan; Matthew van Niekerk; Michael Fanto; Stefan Preble 出版日期:2020-01-01 |
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(2025-6-4)