Design and experiment of a touch mode MEMS capacitance vacuum gauge with square diaphragm

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标题	Design and experiment of a touch mode MEMS capacitance vacuum gauge with square diaphragm
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2020.112154
DOI	10.1016/j.sna.2020.112154 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Xiaodong Han; Mahui Xu; Gang Li; Huangping Yan; Yongjian Feng; Detian Li 出版日期：2020
求助人	辛勤长颈鹿在 2026-01-29 17:52:25 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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