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标题
Local laser-induced solid-phase recrystallization of phosphorus-implanted Si/SiGe heterostructures for contacts below 4.2 K
4.2 K以下磷注入Si/SiGe异质结构的局部激光诱导固相再结晶
相关领域
材料科学 异质结 退火(玻璃) 光电子学 再结晶(地质) 电子迁移率 凝聚态物理 冶金 物理 生物 古生物学
网址
DOI
10.1103/physrevmaterials.8.043801 doi
其它 期刊:Physical Review Materials
作者:Malte Neul; Isabelle V. Sprave; Laura K. Diebel; Lukas G. Zinkl; Florian Fuchs; et al
出版日期:2024-04-12
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漂亮的山菡 在 2025-08-04 08:35:21 发布,悬赏 10 积分
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