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标题
Reduction of edge beading defects on rectangular substrates using a rotation about an axis perpendicular to the spin axis
使用绕垂直于自旋轴的轴旋转来减少矩形衬底上的边缘珠状缺陷
相关领域
垂直的 物理 旋转（数学） 机械 表面张力 凝聚态物理 离心力 粘度 GSM演进的增强数据速率 材料科学 光学 几何学 热力学 流量（数学） 数学 计算机科学 电信
网址
https://doi.org/10.1063/5.0167174
DOI
10.1063/5.0167174 doi
其它 期刊：Physics of Fluids
作者：D. E. Weidner; Soroosh Mahmoodi
出版日期：2023-10-01
求助人
豆豆 在 2025-08-04 09:11:12 发布自安徽，悬赏 10 积分
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