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 Reduction of edge beading defects on rectangular substrates using a rotation about an axis perpendicular to the spin axis 使用绕垂直于自旋轴的轴旋转来减少矩形衬底上的边缘珠状缺陷
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期刊：Physics of Fluids 作者：D. E. Weidner; Soroosh Mahmoodi 出版日期：2023-10-01 |
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