| 标题 |
 Journal of Micromechanics and Microengineering Purpose-Led Publishing, find out more. The design, fabrication and evaluation of a MEMS PZT cantilever with an integrated Si proof mass for vibration energy harvesting 微力学和微工程杂志目的导向出版，了解更多。用于振动能量收集的集成硅质量的MEMS PZT悬臂的设计、制造和评估
相关领域
验证质量
悬臂梁
微电子机械系统
材料科学
制作
单层压电片
深反应离子刻蚀
振动
基质（水族馆）
压电
能量收集
电阻式触摸屏
光电子学
硅
蚀刻（微加工）
反应离子刻蚀
声学
功率（物理）
复合材料
电气工程
工程类
病理
地质学
物理
替代医学
海洋学
医学
图层（电子）
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
无极微光
GingerF
zzzz
大力的灵雁
lizishu
湖工大保卫处
昏睡的蟠桃
浮浮世世
闪闪的忆枫
贪玩的秋柔
科研狗
张欢馨
侯人雄
Rich
殷勤的紫槐
CyrusSo524
嘉心糖
印第安老斑鸠
Criminology34
花花菌
皖公网安备34019202002308
