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 A possible origin of the large leakage current in ferroelectric Al1−x Sc x N films 铁电Al 1−x Sc x N薄膜大漏电流的可能来源
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Junji Kataoka; Sung‐Lin Tsai; Takuya Hoshii; Hitoshi Wakabayashi; Kazuo Tsutsui; et al 出版日期：2021-02-15 |
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舒适映萱
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