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 Characterization of a novel microhotplate for application in a silicon-based nanofilm gas sensor 用于硅基纳米膜气体传感器的新型微热板的表征
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期刊：Instrumentation Science & Technology 作者：Zhenyu Yuan; Fan Yang; Yudong Li; Jinhe Zhang; Fanli Meng 出版日期：2022-06-16 |
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