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  Study of surface damage in silicon by irradiation with focused rubidium ions using a cold-atom ion source 冷原子离子源聚焦铷离子辐照硅表面损伤的研究
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Sheng Xu; Y. Li; Marcel A. Verheijen; E. R. Kieft; E.J.D. Vredenbregt 出版日期：2023-06-21 |
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