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标题
Stress analysis in new improved differential vertical comb capacitive micro accelerometer using SOI technology
基于SOI技术的新型改进差动垂直梳状电容式微加速度计的应力分析
相关领域
绝缘体上的硅 材料科学 残余应力 薄脆饼 电容感应 偏转（物理） 加速度计 压力（语言学） 结构工程 硅 复合材料 光学 光电子学 电气工程 物理 工程类 语言学 哲学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1007/s00542-020-05155-3
DOI
10.1007/s00542-020-05155-3 doi
其它 期刊：Microsystem Technologies
作者：Manoj Kumar Dounkal; R. K. Bhan; Navin Kumar
出版日期：2021-01-03
求助人
温暖的弦 在 2025-08-29 22:23:47 发布，悬赏 10 积分
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