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标题
Electron impact ionization cross-sections of carbon-fluorine environmental gases for photolithography
光刻用碳氟环境气体的电子碰撞电离截面
相关领域
电子电离 氟 电离 碳纤维 光刻 化学 原子物理学 材料科学 纳米技术 离子 有机化学 物理 复合材料 复合数
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/adca53
DOI
10.1088/1361-6595/adca53 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Yuwei Ma; Yunliang Song; Bowen Li
出版日期：2025-04-08
求助人
kakainho 在 2025-05-24 01:40:36 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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