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标题
Simulation results of the gas rarefaction and target ion evolution in a chopped high power impulse magnetron sputtering discharge
大功率脉冲磁控溅射放电中气体稀疏和靶离子演化的模拟结果
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 材料科学 溅射沉积 脉冲（物理） 电离 离子 溅射 等离子体 光电子学 原子物理学 化学 纳米技术 物理 薄膜 有机化学 量子力学
网址
https://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/5.0062990
AI链接 scitation.org scitation.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.1063/5.0062990 doi
其它 期刊：AIP Advances
作者：Chunqing Huo; Yingxi Ji; Shijie Xie; Runwei Song; Qiang Chen
出版日期：2021-12-01
求助人
Mie 在 2025-07-01 23:31:21 发布，悬赏 10 积分
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