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标题
Machine Learning for Semiconductor Process Simulation Described by Coupled Partial Differential Equations
耦合偏微分方程描述的半导体工艺模拟的机器学习
相关领域
偏微分方程 计算机科学 人工神经网络 计算 卷积（计算机科学） 工艺CAD 过程（计算） 半导体器件 半导体器件建模 半导体 电子工程 计算科学 微分方程 扩散 计算机工程 人工智能 算法 图层（电子） CMOS芯片 数学 工程类 电气工程 材料科学 计算机辅助设计 物理 工程制图 数学分析 纳米技术 操作系统 热力学
网址
https://doi.org/10.1002/adts.202300218
DOI
10.1002/adts.202300218 doi
其它 期刊：Advanced Theory and Simulations
作者：R. Sato; Kentaro Kutsukake; Shunta Harada; Miho Tagawa; Toru Ujihara
出版日期：2023-06-15
求助人
able 在 2025-06-20 16:46:32 发布自浙江，悬赏 10 积分
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