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标题
Nitride formation during reactive sputter deposition of multi-principal element alloys in argon/nitrogen mixtures
氩/氮混合物中多主元合金反应溅射沉积过程中氮化物的形成
相关领域
氮化物 溅射 电负性 氮气 纹理（宇宙学） 分析化学（期刊） 溅射沉积 氩 合金 材料科学 沉积（地质） 冶金 化学 薄膜 无机化学 图层（电子） 复合材料 纳米技术 环境化学 有机化学 人工智能 古生物学 图像（数学） 生物 计算机科学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138721
AI链接 ugent.bedoi.org
DOI
10.1016/j.tsf.2021.138721 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Diederik Depla; Robin Dedoncker; Koen Strijckmans
出版日期：2021-05-27
求助人
星辰大海 在 2025-06-08 00:35:46 发布，悬赏 10 积分
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