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Nitride formation during reactive sputter deposition of multi-principal element alloys in argon/nitrogen mixtures

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作者

Diederik Depla,Robin Dedoncker,Koen Strijckmans

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2021-05-27 卷期号：732: 138721-138721 被引量：12

链接

ugent.bedoi.org

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2021.138721

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