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Interface engineering for high interfacial strength between SiCOH and porous SiCOH interconnect dielectrics and diffusion caps
SiCOH与多孔SiCOH互连电介质和扩散帽之间高界面强度的界面工程
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:A. Grill; D. Edelstein; Michael Lane; V. Patel; S. M. Gates; et al 出版日期:2008-03-01 |
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