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标题
High mobility of IGO/IGZO double-channel thin-film transistors by atomic layer deposition
高迁移率IGO/IGZO双沟道薄膜晶体管的原子层沉积
相关领域
原子层沉积 材料科学 薄膜晶体管 图层（电子） 沉积（地质） 光电子学 薄膜 晶体管 频道（广播） 纳米技术 电气工程 电压 沉积物 生物 工程类 古生物学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0194691
DOI
10.1063/5.0194691 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Pan Wen; Cong Peng; Z. Chen; Xiaobin Ding; Fa-Hsyang Chen; et al
出版日期：2024-03-25
求助人
嘿嘿 在 2024-04-23 17:20:34 发布自陕西，悬赏 10 积分
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