Comparison of thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium oxide thin films

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标题	Comparison of thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of niobium oxide thin films
网址	https://doi.org/10.1116/1.5034097
DOI	10.1116/1.5034097 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Saravana Balaji Basuvalingam; Bart Macco; Harm C. M. Knoops; Jimmy Melskens; W. M. M. Kessels; et al 出版日期：2018-06-18
求助人	伶俐浩轩在 2026-08-31 14:08:17 发布自美国，悬赏 10 积分
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