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标题
Thin polymer films with high step coverage in microtrenches by initiated CVD
网址
http://dx.doi.org/10.1002/cvde.200806713
DOI
10.1002/cvde.200806713 doi
求助人
我爱科研 在 2026-09-05 16:39:05 发布自河北，悬赏 10 积分
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