| 标题 |
Overview and status of the 0.5NA EUV microfield exposure tool at Berkeley Lab |
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10.1117/12.2516339
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| 其它 |
期刊: 作者:Christopher N. Anderson; Arnaud Allézy; Weilun Chao; C. Cork; Will Cork; et al 出版日期:2019-03-14 |
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