| 标题 |
Stress analysis of circular membrane-type MEMS microphones with piezoelectric read-out |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Sensors and Actuators A: Physical 作者:P.G. Ullmann; C. Bretthauer; M. Schneider; U. Schmid 出版日期:2023-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)