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标题
Comparative study of inductively coupled and microwave BF3 plasmas for microelectronic technology applications
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.556998
DOI
10.1117/12.556998 doi
其它 期刊：SPIE Proceedings
作者：Yakov N. Sukhanov; Alexey P. Ershov; Konstantin V. Rudenko; Alexander A. Orlikovsky
出版日期：2004-05-28
求助人
sefsfw 在 2026-07-23 22:15:48 发布自北京，悬赏 20 积分
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    科研通AI6.4 科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

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  • 1小时前

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  • 1小时前

    sefsfw sefsfw Lv5 求助人 发起了本次求助

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