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Reactive force-field-based molecular dynamics simulation of chemical mechanical polishing of silicon carbide in alcoholic environment
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109963
DOI
10.1016/j.mssp.2025.109963 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Ling Pan; Shiyang Tan; Changhao Wu; Yunhui Chen
出版日期：2025-08-13
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山竹微甜 在 2026-07-24 17:25:50 发布自河南，悬赏 10 积分
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