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标题
Phase defect inspection for patterned EUV mask based on photoelectron microscopy
网址
https://opg.optica.org/viewmedia.cfm?URI=ao-65-24-8064&seq=0
DOI
10.1364/ao.603679 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Yanxing Liu; Bochao Li; Weipeng Zhang; Jiawei Li; Hanzhi Zhang; et al
出版日期：2026-07-15
求助人
lxl 在 2026-08-11 07:55:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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