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 Effects of nitrogen flux and RF sputtering power on the preparation of crystalline a-plane AlN films on r-plane sapphire substrates 氮通量和射频溅射功率对r面蓝宝石衬底上制备A面AlN薄膜的影响
相关领域
溅射
材料科学
蓝宝石
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退火（玻璃）
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半最大全宽
光电子学
薄膜
分析化学（期刊）
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光学
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物理
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Tingsong Cai; Yanan Guo; Zhibin Liu; Ruijie Zhang; Bin Xue; et al 出版日期：2022-11-11 |
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