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 Effect of dehydrogenation on optical constants of silicon nitride thin films 脱氢对氮化硅薄膜光学常数的影响
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期刊：Optical Materials 作者：G. Lavareda; Y. Vygranenko; Ângela Maria Amaral; P. Brogueira 出版日期：2023-11-01 |
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