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  Highly sensitive 3C-SiC on glass based thermal flow sensor realized using MEMS technology 基于MEMS技术的高灵敏度3C-SiC玻璃基热流传感器
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材料科学
碳化硅
灵敏度（控制系统）
微电子机械系统
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：V.R. Balakrishnan; Toan Dinh; Hoang‐Phuong Phan; Dzung Viet Dao; Nam‐Trung Nguyen 出版日期：2018-06-15 |
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