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Top-down fabrication of single crystal silicon nanowire using optical lithography 相关领域
材料科学
纳米线
硅
平版印刷术
绝缘体上的硅
制作
光电子学
蚀刻(微加工)
电子束光刻
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抵抗
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替代医学
病理
医学
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Nor Farahidah Za’bah; K.S.K. Kwa; Leon Bowen; Budhika G. Mendis; A.G. O’Neill 出版日期:2012-07-15 |
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