Enabling metrology and inspection for CFET structures using hybrid qualification approaches

已完结

文献求助详情

标题	Enabling metrology and inspection for CFET structures using hybrid qualification approaches
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090939
DOI	10.1117/12.3090939 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XL 作者：H. Yang; J. Bogdanowicz; M. Hasan; B. Baskaran; J. Kim; et al 出版日期：2026
求助人	tester_gater 在 2026-05-19 17:52:02 发布自北京，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Criminology34上传了应助文件

5秒前; 快乐的雨珍完成签到，获得积分10

16秒前; 失眠紫完成签到，获得积分10

23秒前; Criminology34上传了应助文件

31秒前; Criminology34上传了应助文件

36秒前; zsmj23完成签到，获得积分0

41秒前; CodeCraft上传了应助文件

51秒前; yy发布了新的文献求助10

55秒前; 冷艳的紫完成签到，获得积分10

1分钟前; Criminology34上传了应助文件

1分钟前; Criminology34上传了应助文件

1分钟前; 美好的香薇完成签到，获得积分10

1分钟前; 复杂妙海完成签到，获得积分10

1分钟前; Criminology34上传了应助文件

1分钟前; Criminology34上传了应助文件

2分钟前; 清脆的惜萍完成签到，获得积分10

2分钟前; 陈建美完成签到，获得积分10

2分钟前; Criminology34上传了应助文件

2分钟前; 复杂月饼完成签到，获得积分10

2分钟前; 机灵怀蝶完成签到，获得积分10

2分钟前; Criminology34上传了应助文件

2分钟前; 深情大象完成签到，获得积分10

2分钟前; Criminology34上传了应助文件

2分钟前; 含蓄的新柔完成签到，获得积分10

2分钟前; Criminology34上传了应助文件

3分钟前; 香蕉觅云上传了应助文件

3分钟前; nana发布了新的文献求助10

3分钟前; Criminology34上传了应助文件

3分钟前; 执着访云完成签到，获得积分10

3分钟前; 在水一方的应助被科研通管家采纳，获得30

3分钟前; Criminology34上传了应助文件

3分钟前; 坚定谷蕊完成签到，获得积分10

3分钟前; drirshad完成签到，获得积分10

3分钟前; 柔弱的铅笔完成签到，获得积分10

4分钟前; 干净寄松完成签到，获得积分10

4分钟前; 淡淡的怜翠完成签到，获得积分10

5分钟前; 鱼鱼完成签到，获得积分10

5分钟前; Criminology34上传了应助文件

5分钟前; 研友_惊鸿关闭了研友_惊鸿的文献求助

5分钟前; Linden_bd完成签到，获得积分10

5分钟前