Role of low-energy electrons in the solubility switch of Zn-based oxocluster photoresist for extreme ultraviolet lithography

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标题	Role of low-energy electrons in the solubility switch of Zn-based oxocluster photoresist for extreme ultraviolet lithography 相关领域光刻胶紫外线极紫外光刻电子平版印刷术材料科学溶解度极端紫外线 X射线光刻抵抗光电子学低能纳米技术光化学化学光学原子物理学物理物理化学激光器量子力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1039/d1cp02334a
DOI	10.1039/d1cp02334a doi
其它	期刊：Physical Chemistry Chemical Physics 作者：Markus Rohdenburg; Neha Thakur; René Cartaya; Sonia Castellanos; Petra Swiderek 出版日期：2021-01-01
求助人	樊珩在 2026-04-29 15:35:22 发布自美国，悬赏 10 积分
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