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标题
Single‐Component High‐Resolution Dual‐Tone EUV Photoresists Based on Precision Self‐Immolative Polymers
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网址
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/anie.2024155...
DOI
10.1002/anie.202415588 doi
其它 期刊：Angewandte Chemie International Edition
作者：Jie Cen; Wen Liu; Jie Xu; Xiuxia Wang; Jialin Zhang; et al
出版日期：2024-09-21
求助人
狂野听白 在 2026-03-24 22:53:45 发布自山东，悬赏 10 积分
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