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 NXT:1980Di immersion scanner for 7nm and 5nm production nodes 相关领域
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| DOI |
10.1117/12.2220589
doi
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期刊：SPIE Proceedings 作者：Roelof de Graaf; Stefan Weichselbaum; Richard Droste; Matthew McLaren; Bert Koek; et al 出版日期：2016-03-16 |
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