Trimming of high-Q-factor silicon ring resonators by electron beam bleaching

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标题	Trimming of high-Q-factor silicon ring resonators by electron beam bleaching
网址	https://doi.org/10.1364/ol.37.003114
DOI	10.1364/ol.37.003114 doi
其它	期刊：Opt Lett 作者：Prorok S, Petrov AY, Eich M, Luo J, Jen AK 出版日期：2012-08-01
求助人	复杂的世德在 2026-10-22 17:51:19 发布自美国，悬赏 10 积分
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