Grain size engineering for ferroelectric Hf₀.₅Zr₀.₅O₂ films by an insertion of Al₂O₃ interlayer

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标题	Grain size engineering for ferroelectric Hf₀.₅Zr₀.₅O₂ films by an insertion of Al₂O₃ interlayer
网址	http://dx.doi.org/10.1109/LED.2023.3241085
DOI	10.1109/LED.2023.3241085 doi
求助人	小河在 2026-08-03 22:28:38 发布自河北，悬赏 10 积分
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