High spatial frequency on-device overlay characterization using CD-SEM contours

已关闭

文献求助详情

标题	High spatial frequency on-device overlay characterization using CD-SEM contours
网址	https://opticalengineering.spiedigitallibrary.org/conference...
DOI	10.1117/12.2657914 doi
求助人	dinghongzhen 在 2026-07-09 16:16:09 发布自上海，悬赏 20 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

1个月前，求助关闭

dinghongzhen Lv6 求助人关闭了本次求助。

说明已经找到【积分已退回】
1个月前

dinghongzhen Lv6 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 淡淡的mm完成签到，获得积分10

刚刚; YanYan完成签到，获得积分10

1秒前; 若琦2026完成签到，获得积分10

3秒前; 月上柳梢头A1完成签到，获得积分10

3秒前; Richard完成签到，获得积分10

6秒前; Mollymama发布了新的文献求助10

6秒前; 机智的孤兰完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

8秒前; Mollymama完成签到，获得积分10

9秒前; clxgene完成签到，获得积分10

9秒前; 阿华完成签到，获得积分10

10秒前; 为为的小耳朵完成签到，获得积分10

11秒前; menghongmei完成签到，获得积分10

13秒前; 米鼓完成签到，获得积分10

13秒前; 阿华发布了新的文献求助10

13秒前; 潘潘完成签到，获得积分10

13秒前; 笨笨的蓝天完成签到，获得积分10

13秒前; tt完成签到，获得积分10

14秒前; 幽默滑板完成签到，获得积分10

14秒前; 叶子完成签到，获得积分10

15秒前; wzk完成签到，获得积分10

18秒前; LaixS完成签到，获得积分10

20秒前; 要笑cc完成签到，获得积分0

22秒前; buerzi完成签到，获得积分10

24秒前; 宣宣宣0733完成签到，获得积分0

24秒前; 胡质斌完成签到，获得积分0

26秒前; st完成签到，获得积分10

28秒前; Lotus完成签到，获得积分10

32秒前; 落霞与孤鹜齐飞完成签到，获得积分10

34秒前; 凤迎雪飘完成签到，获得积分10

35秒前; Astraeus完成签到，获得积分10

38秒前; 三冬四夏完成签到，获得积分10

40秒前; 只影有你完成签到，获得积分10

42秒前; 小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10

42秒前; 陈M雯完成签到，获得积分10

42秒前; 博修完成签到，获得积分10

43秒前; Criminology34的应助被jiang采纳，获得30

45秒前; Criminology34的应助被jiang采纳，获得30

45秒前; syalonyui完成签到，获得积分10

49秒前; Owen上传了应助文件

49秒前