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  Workfunction fluctuations in polycrystalline TiN observed with KPFM and their impact on MOSFETs variability 用KPFM观察到的多晶TiN中的功函数波动及其对MOSFET可变性的影响
相关领域
锡
微晶
MOSFET
开尔文探针力显微镜
材料科学
晶界
纳米
光电子学
金属浇口
粒度
工作职能
凝聚态物理
原子力显微镜
纳米技术
图层（电子）
电气工程
物理
冶金
微观结构
晶体管
电压
工程类
复合材料
栅氧化层
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| 其它 |
期刊：Applied Physics Letters 作者：A. Ruiz; Natalia Seoane; S. Claramunt; Antonio J. García‐Loureiro; M. Porti; et al 出版日期：2019-03-04 |
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