SiC-4H epitaxial layer growth using trichlorosilane (TCS) as silicon precursor - 科研通

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标题	SiC-4H epitaxial layer growth using trichlorosilane (TCS) as silicon precursor 以三氯氢硅(TCS)为硅前驱体生长SiC-4H外延层
网址	https://www.scientific.net/MSF.527-529.179
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	直率的板凳在 2025-05-28 09:57:31 发布自上海，悬赏 30 积分
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