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标题
Titanium diffusion in Si/Al2O3/Ti/Au metal oxide semiconductor capacitors
Si/Al2O3/Ti/Au金属氧化物半导体电容器中钛的扩散
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材料科学 电介质 退火（玻璃） 电容器 形成气体 光电子学 电容 半导体 栅极电介质 钛 氧化物 半导体器件 电子工程 纳米技术 复合材料 冶金 图层（电子） 电压 电气工程 电极 晶体管 化学 物理化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001045
DOI
10.1116/6.0001045 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：R. T. Hawkins; Anuj Kumar Jain; Sohum Kulkarni; Chadwin D. Young
出版日期：2021-06-08
求助人
yunjun 在 2025-07-03 13:21:28 发布，悬赏 10 积分
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